从校园走上工厂流水线，北京理工大学学生团队研发微芯片“火眼”辨物

来源：网络作者：京报网时间：03-07 手机版

近日，北京理工大学学生团队在结构光三维投影芯片的研发中实现突破，并成功在工厂流水线推广应用。因为可以精准投影结构光图案，“火眼”辩物还原物体三维信息，这枚微机电系统微镜芯片将应用在更广泛的领域，比如感知快递尺寸实现物流智能分拣、还原犯罪现场三维痕迹、辅助牙医构建牙齿三维模型等。

2022年5月，团队成员曹英超在苏州纳米所使用显微镜检测芯片

无人车间里，多条生产线高效运转着。结构庞大的机械臂，一上一下，一抓一拿，精准将零部件定位、抓取、装配、焊接，一连串动作行云流水，没有丝毫拖泥带水。机械臂“看得见”的秘密，藏在一枚小巧的微机电系统微镜芯片上。

2022年5月，曹英超在苏州纳米所测试间使用探针台检测完成某步加工工艺的MEMS微镜芯片是否满足设计要求。

“我们研发的微机电系统芯片能以高帧率将结构光投影到物体表面，为机器人视觉感知提供精准三维信息，构建广阔视野。在智慧物流、刑侦采集、医疗诊断等领域有望得到广泛应用。”北理工“光芯绘影”学生团队负责人、集成电路与电子学院硕士张瑞浩说，目前，我国在该领域的芯片依赖进口、国产性能不足。以微镜芯片为突破口，针对现有技术短板不断创新，是团队的科研目标。

2022年6月，光芯绘影团队与北京理工大学重庆微电子研究院举办了CIMEMS暑期科研实践，为20多名即将入学的新同学提供科创方面的培训。

提高芯片的精度等性能，是团队的重点研发方向。“芯片的核心是一面微反射镜，通过围绕扭转梁在特定角度下转动，高速反射光线从而投影出结构光图案。”微镜芯片设计负责人、集成电路与电子学院博士曹英超解释，扭转梁在镜面转动时会发生形变，大角度偏转时可能会断裂损坏器件，所以优化扭转梁的结构设计是研发的重要步骤。在该学院教授谢会开的指导下，团队通过数十次工艺验证，最终制作出了承受力第一的扭转梁。曹英超补充：“扭转梁能够承受的应力提高了，微镜的偏转角度也更大，可以让镜面反射出更广的视野。”