小编 7 月 18 日消息,由于外媒的一些报道,国内投资者对于国内企业采购 ASML 光刻机的事情比较关注。今日,赛微电子在互动平台上称,公司所需光刻机的持有及采购均处于正常状态。
此外,该公司在现有产线进行 BAW 滤波器的试产;公司与武汉敏声的业务合作正常进行中;激光雷达振镜目前处于工艺开发阶段,进展顺利;公司境内外产线的产能情况不同;德国收购仍在继续等待审批结果。
对于投资者比较关注的北京工厂产能问题,赛微电子表示该公司北京 FAB3 的一期产能为 1 万片 / 月,二期产能为 2 万片 / 月,合计为 3 万片 / 月;公司与武汉敏声合作建设的滤波器产线已包括在二期产能中。
据公开资料,赛微电子原名耐威科技,主营 MEMS、导航、航空三大业务,是我国 MEMS 工艺开发与晶圆制造领先企业,是少数具备惯性导航系统及核心器件自主研发生产能力且导航产品链较完整的民营企业之一。
小编了解到,2016 年该公司耗资 7.5 亿元全资收购瑞典 Silex, 该公司为全球 MEMS 代工龙头,拥有 100 余项国际 MEMS 核心专利,收购后 MEMS 业务营收占该公司总营业收入的 74.54%,2019 年公司 MEMS 晶圆代工排名跃居全球第一。
赛微电子有几台光刻机
赛微电子具有3台光刻机,分别为经典系列、卓越系列和优秀系列。经典系列光刻机型号为SC300,它拥有11.7mm x 13.7mm的最大曝光尺寸,支持25μm的最小线宽;卓越系列的型号为SC500,它拥有25mm x 25mm的最大曝光尺寸,支持12μm的最小线宽;优秀系列的型号为SC650,它拥有50mm x 50mm的最大曝光尺寸,支持6μm的最小线宽。赛微电子的3台光刻机可以满足不同客户的贴片需求,提供最佳的光刻质量和最高的生产效率。
上海微电子的90纳米光刻机已经通过了验收,现在在哪个公司有实际应用?
芯片禁令的实施,让台积电无法代工麒麟芯片,导致华为手机不能正常发布。因此,让更多的人了解到芯片的重要性,也明白了光刻机在芯片制造中的不可或缺。这也让荷兰ASML变得更加知名,销售额不断攀升,营收利润实现了大幅上涨。相比之下,国内光刻机制造商上海微电子就显得没那么风光。不过,这也很不简单,也正是因为有上海微电子,我国才成为全球有能力生产光刻机的三个国家之一。
近年来,台积电就一直在研发和布局先进封装。之前提到的华为研发的芯片叠加技术,要实现就需要用到这个先进封装光刻机。那么,上海微电子的光刻机在全球到底处于什么水平呢?关于光刻机,主要分为前道光刻机和后道光刻机。上边提到的中国首台先进封装光刻机,就属于后道光刻机。前道光刻机是芯片制造过程中使用,就是把高纯硅做成的一大片圆形的芯片圆上通过光刻机刻出一个一个的芯片,而后道光刻机就是把芯片用陶瓷或者树脂等封装起来。在前道光刻机上,上海微电子能够量产90nm光刻机,正在攻坚28nm光刻机。
28nm光刻机也就是现在需求最大的DUV光刻机,中芯国际如今正大举扩产28nm及以上芯片产能,目前需要从ASML购买,如果国产能够交付,那将是重大的突破。因此,在前道光刻机上,我们差距还很大,更别说还有更先进的EUV光刻机了。不过,在后道光刻机上,上海微电子实力可不弱,在国内市场占到了80%左右的份额,在全球市场也占到40%份额。去年,富士康就一下采购了46台国产封装光刻机。
富士康采购的也是比较先进的封装光刻机,因为它要用于芯片圆级封测厂。连富士康都选择了国产光刻机,可见上海微电子在封装光刻机方面,已经彻底站稳了市场。
这对于继续突破前道芯片制造用的光刻机有很大好处,一方面,有了资金,就能形成良性循环,可以继续研发。另一方面,可以积攒经验,这是继续前进的重要保障。
因此,即使上海微电子这次突破是先进封装光刻机,其意义也是十分的重大。
当然,我们还必须要突破前道光刻机,尤其是EUV光刻机。可喜的是,我们早就在布局,并且不只是上海微电子在努力,其它相关企业也在积极研发光刻机相关技术。
像北京科益虹源研发光源系统、北京国望光学研发物镜系统,国科精密研发曝光光学系统、华卓精科研发双工作台、启尔机电研发浸没系统等,将促进国产光刻机突破。
还有中科院、清华大学、长春光机所等还在研发EUV等技术,不断取得了突破。
因此,之前十分狂傲的ASML如今态度也开始变了。之前曾说道即使给我们图纸也做不出光刻机,前段时间ASML总裁却表示,不是绝对不可能,大陆会尝试做出。
并且对于美方限制其向大陆出售EUV光刻机很不满,甚至公开警告道,限制出货只会促进大陆光刻机技术发展,可能不出5年时间,他们将会彻底失去大陆的市场。
现在看来,ASML总裁说得没错,我们在努力,国产光刻机也一定会实现突破。
对于大陆这个全球最大的市场,ASML可不想错过,因为才会和中芯国际续签DUV光刻机协议,还不断降价销售,想要抢占大陆市场,打压我们国产光刻机的发展。
对此,我们必须重视,如今上海微电子在先进封装光刻机上又实现突破,说明我们在前进。只有坚定不移地实现国产光刻机,才能够彻底解决芯片“卡脖子”问题!
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